六氟化硫（sulfur hexafluoride）是一種無(wú)色、無(wú)臭、無(wú)毒、不燃的穩(wěn)定氣體，化學(xué)式SF?它的分子量為146.07，在20℃和0.1 MPa時(shí)密度為6.1kg/m3，約為空氣密度的5倍。六氟化硫在常溫常壓下為氣態(tài)，其臨界溫度為45.6℃，三相點(diǎn)溫度為-50.8℃，常壓下升華點(diǎn)溫度為-63.8℃。六氟化硫分子結(jié)構(gòu)呈八面體排布，鍵合距離小、鍵合能高，因此其穩(wěn)定性很高，在溫度不超過(guò)180℃時(shí)，它與電氣結(jié)構(gòu)材料的相容性和氮?dú)庀嗨啤＜儍舻牧驓怏w雖然無(wú)毒，但是濃度過(guò)大會(huì)出現(xiàn)使人窒息的危險(xiǎn)。在高濃度下會(huì)呼吸困難、喘息、皮膚和黏 膜變藍(lán)、全身痙攣。 吸入80%六氟化硫+20%的氧氣的混合氣體幾分鐘后，人體會(huì)出現(xiàn)四肢麻木，甚至窒息死亡 。我國(guó)規(guī)定，操作間空氣中六氟化硫氣體的允許濃度不大于6g/m3或空氣中氧含量應(yīng)大于18%；短期接觸，空氣中六氟化硫氣體的允許濃度不大于7.5g/m3。

六氟化硫本身是沒(méi)有毒的，在生活或使用過(guò)程中會(huì)分解一些痕量的有毒硫的低氟化合物和氟氧化合物。所以六氟化硫在藥理上是惰性氣體，低毒，但是對(duì)人體有窒息作用。

六氟化硫本身對(duì)人體無(wú)毒、無(wú)害，但它卻是一種溫室效應(yīng)氣體，若遇高熱，容器內(nèi)壓增大，有開(kāi)裂和爆炸的危險(xiǎn)。吸入過(guò)濃的六氟化硫會(huì)呼吸困難，甚至窒息死亡。