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Diener等離子清洗機(jī)Tetra30Tetra30 等離子系統(tǒng)可以組合成不同功能的機(jī)型，例如組合成模塊系統(tǒng)。下面是能夠與 Tetra30 等離子系統(tǒng)組合使用的常見選裝件的概覽：Tetra30 等離子系統(tǒng)主要應(yīng)用于以下領(lǐng)域：分析、 考古、汽車、研究和開發(fā)部門、半導(dǎo)體技術(shù)、小批量生產(chǎn)、塑料技術(shù)、微系統(tǒng)技術(shù)、傳感技術(shù)、紡織技術(shù)?；狙b備：根據(jù)具體組件/選裝件，外殼規(guī)格會(huì)有所不同。腔室容積：根據(jù)具體版本 30 - 50 升。供電電源：立式設(shè)備為 400 V/3 相位。氣體供給：針型閥、質(zhì)量流量控制器 (MFC)。真空腔室：矩形，鋁，帶鉸鏈的門，（寬：305 mm，深：370 mm，高：300 mm）。裝載件：產(chǎn)品支架（選項(xiàng)：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末轉(zhuǎn)鼓、散裝件轉(zhuǎn)鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃 。電極：單層或多層、RIE。控制系統(tǒng)：PCCE 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows CE)。PC 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows POS Ready 2009)。壓力測量：Pirani/電容式壓力計(jì)。計(jì)時(shí)器：數(shù)字式。發(fā)生器：80 kHz：功率 1000 W、13.56 MHz：功率 0 - 600 W；0 - 1000 W、2.45 GHz：功率 0 - 850 W、所有發(fā)生器均為 0 - 100% 無級可調(diào)型 。其它選項(xiàng)：備件套件、壓力計(jì)、腐蝕性氣體設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、法拉利籠、等離子體聚合配件、測試墨水、氧氣發(fā)生器、慢速通風(fēng)裝置、慢速抽吸裝置、TEM 樣品架法蘭、維護(hù)/服務(wù)、當(dāng)?shù)卣Z言的文件、現(xiàn)場安裝，包括培訓(xùn)?？蓱?yīng)要求提供的其他選項(xiàng)。Diener等離子清洗機(jī)Tetra30