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反應(yīng)燒結(jié)碳化硅懸臂槳

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濰坊明亮精細(xì)陶瓷有限公司

  • 聯(lián)系人:秦建增
  • 官網(wǎng)地址:www.chinasisic.com
  • 主營(yíng)產(chǎn)品:山東碳化硅橫梁,山東碳化硅輥棒,山東碳化硅異形梁,山東碳化硅噴火嘴,碳化硅窯車結(jié)構(gòu)件
  • 所在地:山東省濰坊市昌樂縣利民街147號(hào)28號(hào)樓
  • 供應(yīng)產(chǎn)品:31
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產(chǎn)品詳情

Product details

反應(yīng)燒結(jié)碳化硅懸臂槳

反應(yīng)燒結(jié)碳化硅懸臂槳,是半導(dǎo)體晶圓裝載系統(tǒng)的關(guān)鍵部位。反應(yīng)燒結(jié)碳化硅懸臂槳性能穩(wěn)定,在高溫環(huán)境下不變形,晶圓裝載量大,適用于機(jī)器人自動(dòng)裝載和搬運(yùn)系統(tǒng)。由于懸臂槳截面穩(wěn)定不變形,使得利用現(xiàn)有的爐管制備更大規(guī)格晶圓成為可能。懸槳與LPCVD涂層在熱膨脹系數(shù)相近,應(yīng)用于LPCVD,極大地延長(zhǎng)了維護(hù)清洗周期,并大幅減少污染物。

反應(yīng)燒結(jié)碳化硅懸臂槳

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  • 聯(lián)系人職位:總經(jīng)理
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  • 詳細(xì)地址:山東省濰坊市昌樂縣利民街147號(hào)28號(hào)樓
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