陜西慶成工業(yè)有限公司
當(dāng)前位置：首頁(yè)>產(chǎn)品展示>DHHF-1熱絲等離子體薄膜沉積實(shí)驗(yàn)裝置
認(rèn)證資料 Certification Data
陜西慶成工業(yè)有限公司
- 聯(lián)系人：張小姐
- 經(jīng)營(yíng)模式：其他機(jī)構(gòu)
- 主營(yíng)產(chǎn)品：雙金屬溫度計(jì)、耐磨熱電偶、裝配熱電偶、一體化熱電偶、PT100熱電阻、精密壓力表、HART375手操器、數(shù)字壓力校驗(yàn)儀
- 所在地：西安市大慶路10號(hào)
- 供應(yīng)產(chǎn)品：996
產(chǎn)品詳情
Product detailsDHHF-1熱絲等離子體薄膜沉積實(shí)驗(yàn)裝置 主要技術(shù)參數(shù)： ◆真空腔室尺寸：Φ350×H500mm； ◆真空腔室結(jié)構(gòu)：立式前開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu)，后置抽氣系統(tǒng)，雙層水冷； ◆真空系統(tǒng)：擴(kuò)散泵+機(jī)械泵+維持泵； ◆極限真空：5×10-4Pa； ◆真空測(cè)量方式：數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)、薄膜壓力計(jì)； ◆基片臺(tái)尺寸：Φ100mm； ◆基片臺(tái)升降：80～100mm； ◆基片臺(tái)轉(zhuǎn)速：0～10轉(zhuǎn)/分（可調(diào)）； ◆熱絲溫度：2000℃～2500℃； ◆襯底溫度：600℃～1000℃； ◆制膜種類(lèi)：金剛石厚膜、類(lèi)金剛石膜、氮化硅和碳化硅膜等； ◆工作電源：AC380 V，50Hz；整機(jī)功率5KW。電源型式：熱絲電源； ◆真空控制方式：手動(dòng)按鈕控制； ◆工藝氣體控制方式：4路工藝氣體流量控制及顯示系統(tǒng)； ◆報(bào)警及保護(hù)系統(tǒng)：對(duì)泵、電極等缺水、過(guò)流過(guò)壓、斷路等異常情況進(jìn)行報(bào)警并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施。
聯(lián)系方式
Contact Us- 聯(lián)系人姓名：張小姐
- 聯(lián)系人職位：銷(xiāo)售部
- 聯(lián)系人手機(jī)：14791155325
- 企業(yè)電話：-88763820
- 詳細(xì)地址：西安市大慶路10號(hào)